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DRZF系列多晶硅铸锭炉点击次数:3394
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主要技术参数 | DRZF260 | DRZF450 |
硅锭尺寸 | 690×690×250mm | 840×840×280mm |
装料量(炉) | 260-280kg | 450-470kg |
生产周期(小时/炉) | 48-50h | 52-60h |
硅锭生长速率(cm/h) | 0.5-2cm/hr | 0.5-2cm/hr |
炉内极限真空度 | 0.008mbar | 0.008mbar |
额定加热功率 | 160KW | 160KW |
主变压器功率 | 200KVA | 200KVA |